永和元年（1375）、武蔵国騎西郡渋江郷（現さいたま市岩槻区）に石室善玖を開山として創建され、当初は建長寺派に属した。後に妙心寺派に転じ、寛文3年（1663）に川越藩主・松平信綱の遺志を受けて子の輝綱が菩提寺として現在の野火止の地に移転した。境内には松平信綱夫妻の墓（埼玉県指定史跡）と大河内松平家歴代の墓が置かれ、同家の菩提寺として現在に至る。野火止用水開削の功労者・安松金右衛門の墓もある。広大な境内林（約40ヘクタール）は武蔵野の二次林が良好に保たれた残存地として昭和43年（1968）に国の天然記念物に指定され、総門・山門・仏殿・中門は埼玉県指定有形文化財となっている。