寺伝によれば天平15年(743年)に行基によって開山された。弘仁6年(815年)には弘法大師空海がここで虚空蔵菩薩求聞持法を修し、寺を中興したと伝わる。明星ヶ岳の中腹という山岳立地は、平安時代以降の密教寺院の特色を示している。戦国時代に六角氏や蒲生氏による戦火を受け堂宇が焼失したが、その都度再建された。大正時代にも火災で本堂と庫裏を失ったが復興し、現在に至る。毎年4月13日の大会式や12月の虚空蔵菩薩護摩供養が伝統行事として続けられている。三重四国八十八箇所霊場の番外札所として広く信仰を集める。