天長7年（830年）頃、慈覚大師円仁によって開創されたと伝わる真言宗の古刹。平安時代より等々力渓谷の不動の滝を拠点とする修験の霊場として知られ、本尊の大日如来坐像は藤原時代の作と伝えられる。中世には等々力不動尊の本坊として機能し、渓谷の自然と一体となった霊場を形成した。室町時代から戦国時代にかけては、世田谷を支配した吉良氏の庇護を受けて寺勢を維持・拡大したとされる。江戸時代に入ると引き続き吉良氏の外護のもとで伽藍が整備され、地域信仰の中心地として栄えた。明治期の神仏分離令の影響を受けながらも寺院としての法灯を継承し、現代に至るまで等々力渓谷の霊場としての性格を保ち続けている。